Wafer Prober et Frame Handling Prober

Les probers sont des machines nécessaires pour tester électriquement une à une les puces sur wafer. Il prend en charge de façon entièrement automatique la charge et le traitement du wafer en respectant la plus grande exactitude de positionnement. Une cellule de test complète est composée d'un prober, d'une unité de test, et d'une carte à pointes (probe card).
Prober 200mm :
UF2000
Excellent prober entièrement automatisé pour des plaquettes de 120 à 200 mm, pour un débit élevé avec la meilleure précision sur une grande plage de température.
UF2000.PDF
UF200R / UF190R
Prober éprouvé depuis des générations entièrement automatisé pour des wafers de 100 ou 120 à 200 mm ; il est aujourd'hui disponible avec la dernière génération électronique et logicielle et pour de nombreuses applications spéciales, telles que la manipulation de plaquettes par MEMS.
UF200R / UF190R.PDF
FP2000
Premier testeur à manipulation de frames 200 mm entièrement automatique, avec fonction de préhension de frame, fondé sur la plate-forme UF2000 – la plus grande adaptabilité pour tester des wafers plaquettes entièrs aussi bien que des wafers sur dicing frame.
FP2000.PDF
Prober 300mm :
UF3000EX
Excellent prober entièrement automatisé pour des wafers de 200 à 300 mm, pour hautes exigences de production – encore plus vite et encore plus précis.
UF3000EX.PDF
UF3000EX-e
Prober modifié à partir de l’UF3000EX pour des plaques de 200 à 300 mm – disponible pour un grand nombre d'applications hors du commun, en particulier concernant la manipulation de types de plaques spéciales.
UF3000EX-e.PDF
FP3000
Testeur à manipulation de frames éprouvé avec fonction de préhension de frames pour des plaques jusqu'à 300 mm sur dicing frame, disponible aussi avec l'option de manipulation de plaques pour une polyvalence en production maximale.
FP3000.PDF